


316L不锈钢低压密封气动隔膜控制阀 超高纯特殊气体隔膜控制阀 低压氮气调压阀 低压手动隔膜阀
316L不锈钢低压密封气动隔膜控制阀 超高纯特殊气体隔膜控制阀 低压氮气调压阀 低压手动隔膜阀
特点
阀体
*316L VIM-VAR 不锈钢阀体材质,适用于超高纯应用。
*内表面粗糙度可达 Ra 5 µin,流道可完全清洁。
1. 最大程度减少滞留区域。
2. 便于吹扫。
3. 最大程度提高流量。
隔膜
*采用哈氏合金 C-22 或钴基高温合金 (UNS R30003) 材料,强度高,耐腐蚀。
*优化设计,延长使用寿命。
阀座
*全封闭 PCTFE 阀座设计:
1. 优异的抗膨胀和污染性能。
2. 提升氦气泄漏测试性能。
3. 最大程度减少颗粒产生。
4. 循环寿命长。
*高洁净度组装和封装,适用于高纯度半导体行业。
*全部产品出厂前均经过氦气测试。
技术参数
产品尺寸
尺寸(以毫米为单位)仅供参考,如有更改,恕不另行通知。
Flow Channel Form
订购信息
*以上为标准订购规格,如需订购其他规格型号,请与我司销售人员或代理商联系。