特气柜

特气柜是一种用于供应和管理特种气体的设备，主要用于半导体、LED等新兴产业的生产过程中。这些特种气体包括易燃、易爆、剧毒等具有一定危险性的气体，如硅烷（SiH4）等。特气柜通过高效净化、环保节能、操作简便、外形美观等特点，为各种室内场所如家庭、办公室、商场、酒店等提供安全、新鲜、干净的空气。

捷微洛克专注于全自动和半自动GC特气柜 BSGS特气柜 VMB特气柜 TMA特气柜 Scrubber尾气处理柜 特气分配柜 VDB特气柜 VDP特气柜，适用于SiH4, NF3, NH3, N2O, HCI等气体

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