针阀

高纯气体系统用针形阀是针对半导体制造、光伏材料制备等工业场景中高纯气体流量控制需求设计的专用阀门装置，用于细调高纯气体流量，不锈钢材质需满足内漏及外漏速率的严格要求，材质与气体接触表面需经特殊处理以保证气体通过时无粒子脱落且不吸附气体。