高纯度大宗特种气体压力控制与过滤系统 半自动BSGS特气柜 VMB特气柜 TMA特气柜 Scrubber尾气处理柜 特气分配柜 VDB特气柜 VDP特气柜

高纯度大宗特种气体压力控制与过滤系统 半自动BSGS特气柜 VMB特气柜 TMA特气柜 Scrubber尾气处理柜 特气分配柜 VDB特气柜 VDP特气柜

技术参数

可选
*紫外/红外火焰探测器
*气缸关闭装置
*面板加热装置
*以太网通讯模块
*称重秤
*过流开关

特气柜是一种用于供应和管理特种气体的设备，主要用于半导体、LED等新兴产业的生产过程中。这些特种气体包括易燃、易爆、剧毒等具有一定危险性的气体，如硅烷（SiH4）等。

在CVD（化学气相沉积）等生产过程中，特气柜发挥着至关重要的作用。它能够满足生产过程中对气体原材料的高纯度和连续稳定供给的要求，确保生产正常进行和员工人身安全。特气柜内部PLC程式设计的安全联锁功能、高纯阀件的合理选择和布局，使得气体在传送过程中经过多次自动吹扫，避免被气体杂质污染，保证气体原材料的纯度。

此外，特气柜还具有报警侦测警报功能，在紧急情况下会自动安全切断，保障生产安全和人员安全。全自动特气柜的柜体板材厚度不低于2.5mm，有防腐蚀涂层，柜门关闭时，气瓶柜内部处于负压状态，柜内的排风换气的频率不低于300次/H，从而确保特气柜在各种环境下都能稳定运行。