半导体高纯度特气分配柜半导体专用气体压力调节柜特气减压柜 VMB特气柜 Scrubber尾气处理柜

半导体高纯度特气分配柜半导体专用气体压力调节柜特气减压柜 VMB特气柜 Scrubber尾气处理柜

技术参数

产品型号	JW-200L-CDM,JW-1000L-CDM
专用气柜尺寸	W2200D1500H2000(双滚筒)/W2990D2100H2000(双滚筒)
控制柜电源	220VAC, 50HZ, 0.5～3KW, 漏电保护
清除	PN2,SS316 1/2″SWG
超纯水	UPW, JIS 16A 粘合
压缩空气	CDA,SS316 1/2″SWG
废料出口	排水管，PP DN20 熔接插座/排水管，PP DN25 熔接插座
标准设备	PP外壳+透明PVC观察窗+PFA内管阀门，氮气吹扫，取样，全自动供酸，左右桶自动切换。泵体两用一备，可根据桶内液位高度自动切换供液操作。触摸屏可显示各阀门工作状态及管路供液状态。自动切断流体供应，系统各部分运行状态预警报警，多重安全自检确认，系统简洁，并支持多种语言，支持多种信号输入，扫码器，高效过滤器，门磁*紧急手动操作面板

选配
*高效过滤器
*门传感器

特气柜是一种用于供应和管理特种气体的设备，主要用于半导体、LED等新兴产业的生产过程中。这些特种气体包括易燃、易爆、剧毒等具有一定危险性的气体，如硅烷（SiH4）等。

在CVD（化学气相沉积）等生产过程中，特气柜发挥着至关重要的作用。它能够满足生产过程中对气体原材料的高纯度和连续稳定供给的要求，确保生产正常进行和员工人身安全。特气柜内部PLC程式设计的安全联锁功能、高纯阀件的合理选择和布局，使得气体在传送过程中经过多次自动吹扫，避免被气体杂质污染，保证气体原材料的纯度。

此外，特气柜还具有报警侦测警报功能，在紧急情况下会自动安全切断，保障生产安全和人员安全。全自动特气柜的柜体板材厚度不低于2.5mm，有防腐蚀涂层，柜门关闭时，气瓶柜内部处于负压状态，柜内的排风换气的频率不低于300次/H，从而确保特气柜在各种环境下都能稳定运行。