单瓶GC特气柜 VMB特气柜全自动特气柜单瓶双瓶三瓶手动全自动特气柜特气架 VMP阀门分配箱

单瓶GC特气柜 VMB特气柜全自动特气柜单瓶双瓶三瓶手动全自动特气柜特气架 VMP阀门分配箱

技术参数

产品型号	JW-FTB-C
产品尺寸	FT箱：W700D460H246 可根据用户要求特殊定制
控制柜电源	T箱/FT箱电控部分可与工厂中央控制系统连接
废料出口	排水管，PP DN20 熔接插座
标准设备	PP外壳+透明PVC观察窗+PFA内管阀门组件，带泄漏报警装置

选配

*传感器

特气柜是一种用于供应和管理特种气体的设备，主要用于半导体、LED等新兴产业的生产过程中。这些特种气体包括易燃、易爆、剧毒等具有一定危险性的气体，如硅烷（SiH4）等。

在CVD（化学气相沉积）等生产过程中，特气柜发挥着至关重要的作用。它能够满足生产过程中对气体原材料的高纯度和连续稳定供给的要求，确保生产正常进行和员工人身安全。特气柜内部PLC程式设计的安全联锁功能、高纯阀件的合理选择和布局，使得气体在传送过程中经过多次自动吹扫，避免被气体杂质污染，保证气体原材料的纯度。

此外，特气柜还具有报警侦测警报功能，在紧急情况下会自动安全切断，保障生产安全和人员安全。全自动特气柜的柜体板材厚度不低于2.5mm，有防腐蚀涂层，柜门关闭时，气瓶柜内部处于负压状态，柜内的排风换气的频率不低于300次/H，从而确保特气柜在各种环境下都能稳定运行。